Báo cáo tóm tắt đề tài - Nghiên cứu tổng hợp, phân tích đặc tính hệ vật liệu áp điện pzt pha tạp và ứng dụng chế tạo biến tử siêu âm gốm áp điện công suất cao

HÂN TÍCH ĐẶC TÍNH HỆ VẬT LIỆU ÁP ĐIỆN PZT PHA TẠP VÀ ỨNG DỤNG CHẾ TẠO BIẾN TỬ SIÊU ÂM GỐM ÁP ĐIỆN CÔNG SUẤT CAO Mã số: B2017-ĐN06-06 Xác nhận của cơ quan chủ trì đề tài Chủ nhiệm đề tài ThS. Nguyễn Văn Thịnh Đà Nẵng, 5/2019 DANH SÁCH THÀNH VIÊN THAM GIA NGHIÊN CỨU Chủ nhiệm đề tài: ThS. Nguyễn Văn Thịnh – Trường Đại học Sư Phạm Kỹ thuật, ĐHĐN. THÔNG TIN KẾT QUẢ NGHIÊN CỨU 1. Thông tin chung: - Tên đề tài: Nghiên cứu tổng hợp, phân tích đặc tính hệ vật liệu áp điện PZT pha tạp và ứng dụng chế tạo biến tử siêu âm gốm áp điện công suất cao - Mã số: B2017-ĐN06-06 - Chủ nhiệm đề tài: ThS. Nguyễn Văn Thịnh - Tổ chức chủ trì: Trường Đại học Sư Phạm Kỹ thuật - Thời gian thực hiện: từ 6/2017 đến 05 /2019. 2. Mục tiêu: - Nghiên cứu xây dựng quy trình công nghệ tổng hợp vật liệu áp điện PZT pha tạp - Nghiên cứu chế tạo, phân tích đặc tính hệ vật liệu áp điện cứng - Mô phỏng hoạt động của biến tử Langevin - Thiết kế, chế tạo biến tử siêu âm công suất cao - Làm chủ công nghệ, triễn khai ứng dụng. 3. Tính mới và sáng tạo: - Nghiên cứu xây dựng thành công quy trình công nghệ tổng hợp vật liệu áp điện PZT pha tạp. - Tổng hợp, phân tích đánh giá đặc tính của hệ vật liệu áp điện cứng có công thức: Pb0,96Sr0,04(Zr0,53Ti0,47)0,996O3 + 0,4% mol MnO2 ( PSZTM) - Mô phỏng xác định tần số cộng hưởng, tính chất của trường âm trong biến tử và môi trường. - Thiết kế, chế tạo biến tử siêu âm công suất cao. 4. Kết quả nghiên cứu: - Đã nghiên cứu xây dựng thành công quy trình công nghệ tổng hợp vật liệu áp điện PZT pha tạp - Đã tổng hợp, phân tích đánh giá các đặc tính của hệ vật liệu có công thức: Pb0,96Sr0,04(Zr0,53Ti0,47)0,996O3 + 0,4% mol MnO2 ( PSZTM) - Đã mô phỏng xác định tần số cộng hưởng, tính chất của trường âm trong biến tử và môi trường - Đã thiết kế, chế tạo biến tử siêu âm công suất cao. 5. Sản phẩm: 5.1. Sản phẩm khoa học: Bài báo đăng tạp chí trong nước: Nghiên cứu xây dụng quy trình công nghệ tổng hợp vật liệu áp điện PZT pha tạp. Tạp chí Khoa học và Công nghệ Đai học Đà Nẵng. Tác giả: Nguyễn Văn Thịnh. Đại học Đà Nẵng. Số: 11(120)2017. Trang: 113-117. 2017. 5.2. Sản phẩm đào tạo: - Hỗ trợ NCS 5.3. Sản phẩm ứng dụng - Quy trình công nghệ tổng hợp vật liệu áp điện PZT pha tạp và chế tạo biến tử siêu âm công suất cao. - Biến tử siêu âm công suất cao 6. Phương thức chuyển giao, địa chỉ ứng dụng, tác động và lợi ích mang lại của kết quả nghiên cứu: - Quy trình công nghệ tổng hợp vật liệu áp điện PZT pha tạp. - Biến tử siêu âm công suất cao để chế tạo máy siêu âm công suất kiểu hội tụ ứng dụng cho khoa Công nghệ Hóa học – Trường Đại học Sư pham Kỹ thuật. Tổ chức chủ trì Ngày 10 tháng 6 năm 2019 Chủ nhiệm đề tài ThS. Nguyễn Văn Thịnh INFORMATION ON RESEARCH RESULTS 1. General information: - Project title: Researching to synthesize, analyze the doped PZT piezoelectric material characteristic and manufacture the high power piezoelectric ceramic ultrasonic transducer - Code number: B2017-ĐN06-06 - Coordinator: M.S. Nguyễn Văn Thịnh - Implementing institution: The University of Danang - Duration: from 06/2017 to 05/2019 2. Objective: - Researching to build the doped PZT piezoelectric material synthesizing technology process, - Researching to manufacture and analyze the hard piezoelectric material characteristic, - Simulating the Langevin transducer operation, - Designing and manufacturing the high power ultrasonic transducer. 3. Creativeness and innovativeness: - Building successfully the doped PZT piezoelectric material synthesizing technology process, - Synthesizing, analyzing and evaluating the hard piezoelectric material characteristic with formula: Pb0.96Sr0.04(Zr0.53Ti0.47)0.996O3 + 0.4% mol MnO2 (PSZTM) - Simulating determinant the resonant frequency, the sound field property in the transducer and environment, - Designing and manufacturing the high power ultrasonic transducer. 4. Research results: - Building successfully the PZT piezoelectric material synthesizing process, - Synthesizing, analyzing and evaluating the hard piezoelectric material characteristic with formula: Pb0.96Sr0.04(Zr0.53Ti0.47)0.996O3 + 0.4% mol MnO2 (PSZTM) - Simulating determinant the resonant frequency, the sound field property in the transducer and environment, - Designing and manufacturing the high power ultrasonic transducer. 5. Products: 5.1. Scientific publications 01 paper in the journal science and technology, the University of Danang: Nghiên cứu xây dụng quy trình công nghệ tổng hợp vật liệu áp điện PZT pha tạp, Tạp chí Khoa học và Công nghệ Đai học Đà Nẵng. Tác giả: Nguyễn Văn Thịnh. Đại học Đà Nẵng. Số: 11(120)2017. Trang: 113-117. 2017. 5.2. Training Support for PhD students 5.3. Application products - The technology process to synthesize the doped PZT piezoelectric material and manufacture the high power ultrasonic transducer. - The high power ultrasonic transducer 6. Transfer alternatives, application institutions, impacts and benefits of research results: - The doped PZT piezoelectric synthesis technology process - The High power ultrasonic transducer to manufacture the focus power ultrasound machine applying for Chemical Technology department, The University of Technology and Education, The University of Danang. 1 MỞ ĐẦU 1. TÍNH CẤP THIẾT CỦA VẤN ĐỀ NGHIÊN CỨU Khoa học vật liệu là lĩnh vực nghiên cứu tổng hợp, phân tích đặc tính và ứng dụng vật liệu mới, đặc biệt là vật liệu áp điện có những tính năng, ứng dụng vượt trội, đang được nhiều nhà khoa học trên thế quan tâm nghiên cứu, ứng dụng. Một cách nhìn tổng quan cho thấy vật liệu gốm áp điện là cơ sơ cho việc chế tạo các phần tử chuyển đổi năng lượng điện – cơ, cơ – điện, trong đó điển hình là biến tử siêu âm gốm áp điện, cũng từ đây để phát triển lĩnh vực siêu âm và ứng dụng. 2. MỤC TIÊU NGHIÊN CỨU - Nghiên cứu xây dựng được quy trình công nghệ chế tạo gốm áp điện. - Tổng hợp được hệ vật liệu áp điện PZT pha tạp. - Phân tích được cấu trúc, vi cấu trúc của vật liệu bằng phương pháp SEM, XRD. - Xác định được tính chất, các thông số của vật liệu theo chuẩn quốc tế IRE-61 và IRE-87 bằng hệ đo HIOKI 3532 tự động hoá - Nghiên cứu xây dựng được quy trình công nghệ chế tạo biến tử siêu âm. - Chế tạo được biến tử siêu âm công suất cao. 3. ĐỐI TƯỢNG VÀ PHẠM VI NGHIÊN CỨU 3.1. Đối tượng nghiên cứu - Vật liệu áp điện - Biến tử siêu âm công suất. 3.2. Phạm vi nghiên cứu - Quy trình công nghệ tổng hợp vật liệu áp điện PZT pha tạp - Thiết kế chế tạo biến tử siêu âm công suất 4. CÁCH TIẾP CẬN VÀ PHƯƠNG PHÁP NGHIÊN CỨU 4.1. Cách tiếp cận. - Nghiên cứu vật liệu gốm áp điện. - Nghiên cứu các phương pháp, quy trình công nghệ tổng hợp vật liệu áp điện - Nghiên cứu biến tử siêu âm gốm áp điện. 2 - Nghiên cứu các phương pháp, quy trình công nghệ chế tạo biến tử siêu âm công suất. 4.2. Phương pháp nghiên cứu - Áp dụng cơ sở các phương pháp nghiên cứu chất rắn. - Nghiên cứu lý thuyết và triển khai tổng hợp vật liệu. - Nghiên cứu tính chất vật liệu, ứng dụng các hệ đo để đo các thống số đặc trưng. - Nghiên cứu các loại biến tử siêu âm, trong đó tập trung vào siêu âm công suất. 5. Ý NGHĨA KHOA HỌC VÀ THỰC TIỄN CỦA ĐỀ TÀI 5.1. Ý nghĩa khoa học của đề tài. - Đề tài là một công trình nghiên cứu cơ bản về khoa học vật liệu, làm chủ được quy trình công nghệ tổng hợp vật liệu áp điện. - Triển khai kết quả nghiên cứu cơ bản thiết kế chế tạo ứng dụng vào kỹ thuật thủy âm - siêu âm. 5.2. Ý nghĩa thực tiễn của đề tài. - Báo cáo tổng kết đề tài là tài liệu tham khảo về vật liệu áp điện, kỹ thuật thủy âm – siêu âm và ứng dụng. - Sản phẩm của đề tài tiếp tục triển khai chế tạo máy siêu âm công suất. 6. NỘI DUNG NGHIÊN CỨU Nội dung của đề tài bao gồm 4 chương. Chương 1: Cơ sở lý thuyết về vật liệu áp điện pha tạp. Chương 2: Nghiên cứu xây dựng quy trình công nghệ chế tạo gốm áp điện PZT pha tạp. Chương 3: Mô phỏng hoạt động của biến tử Langevin bằng phần mềm COMSOL Multiphysics. Chương 4: Chế tạo biến tử siêu âm công suất cao. 3 CHƯƠNG 1 CƠ SƠ LÝ THUYẾT VỀ VẬT LIỆU ÁP ĐIỆN PHA TẠP 1.1 . Cấu trúc perovskite của vật liệu áp điện ABO3. Perovskite là tên gọi của khoáng vật có cấu trúc lập phương CaTiO3. Hầu hết các loại gốm áp điện được sử dụng rộng rãi hiện nay như BaTiO3 (BT), PbTiO3 (PT), PbZr1-xTixO3 (PZT), [Pb1-yLay][Zr1-xTix]O3 (PLZT), KTaxNb1-xO3 (KTN)đều có cấu trúc perovskite. Các oxit phức này có công thức tổng quát là ABO3, trong đó A là các cation (hóa trị 1, 2 hoặc 3) có bán kính ion lớn, B là các cation (hóa trị 5, 4 hoặc 3 tương ứng) có bán kính ion nhỏ hơn và O là oxy. Các chất sắt điện có cấu trúc 2+ 4+ 2- perovskite đã được tìm thấy đều có công thức dạng A B O3 hoặc 1+ 5+ 2- A B O3 , tuy nhiên chưa phát hiện được tính sắt điện trong các hợp 3+ 3+ 2- chất dạng A B O3 . Cấu trúc perovskite thực chất là một mạng 3 chiều của các bát diện BO6- , tuy nhiên chúng ta cũng có thể mô tả chúng gồm những hình lập phương xếp chặt của các ion A và O, ion B nằm ở tâm bát diện Hình 1.1. Cấu trúc perovskit ABO3 1.2. Phân cực tự phát trong các tinh thể áp điện 1.3. Gốm áp điện trên cơ sở PZT Hình 1.3 là giản đố pha biểu diễn phụ thuộc nhiệt độ Curie TC theo tỷ lệ thành phần khối lượng Zr/Ti, với trục hoành là tỷ lệ khối lượng của PbZrO3 và PbTiO3 phía trái giàu Zr, phái phải giàu Ti. Biên pha phân chia vùng sắt điện thành hai miền: pha sắt điện có cấu trúc tứ giác (phía 4 giàu Ti) và pha sắt điện có cấu trúc mặt thoi (phía giàu Zr) được gọi là biên pha hình thái học. Ở nhiệt độ phòng, biên pha nằm tại điểm có Zr/Ti = 53/47, điều đáng chú ý tại biên pha gần như thẳng đứng cho thấy nhiệt O độ TC không thay đổi và giá trị cao nhất khoảng 365 C. Tất cả các công trình nghiên cứu từ trước đến nay đều cho rằng, vật liệu PZT với thành phần tại cận biên pha hình thái học (53/47) cả hai pha tứ giác và mặt thoi cùng tồn tại. Hình 1.3. Giản đồ pha của dung dịch rắn PZT 1.4. Gốm áp điện trên cơ sở PZT pha tạp 1.4.1. Pha tạp bằng cách thay thế tương đương. 1.4.2. Pha tạp bằng cách thay thế không tương đương. Pha tạp mềm: Hình 1.4. Pha tạp mềm trong gốm PZT Pha tạp cứng: Hình 1.5. Pha tạp cứng trong gốm PZT. 1.5. Nhiệt độ Curie và sự chuyển pha 1.6. Đường trễ sắt điện của gốm áp điện PZT 1.7. Cấu trúc Đô-men sắt điện 1.8. Xác định các thông số áp điện theo chuẩn IRE-61 1.8.1. Xác định tần số cộng hưởng 1.8.2. Đo trên mẫu dạng đĩa với kiểu dao động radial 1.8.3. Đo trên mẫu dạng thanh hay hình trụ rỗng mỏng 1.8.4. Đo trên bản dao động theo chiều dày 5 1.8.5. Hệ số phẩm chất Qm Kết luận Chương 1 Từ nghiên cứu tổng quan về lý thuyết tổng quan đã đưa ra được các vấn đề cơ bản về vật liệu áp điện PZT, phương pháp pha tạp cứng và mềm cho vật liệu nền PZT. Phương pháp đo các thông số đặc trưng của gốm áp điện theo chuẩn IRE-61 và IRE- 87. CHƯƠNG 2 KẾT QUẢ NGHIÊN CỨU XÂY DỰNG QUY TRÌNH CÔNG NGHỆ CHẾ TẠO GỐM ÁP ĐIỆN PZT PHA TẠP 2.1. Quy trình công nghệ tổng hợp gốm áp điện PZT pha tạp Hình 2.1. Các công đoạn của quy trình tổng hợp gốm áp điện PZT 2.2. Ứng dụng quy trình công nghệ chế tạo vật liệu áp điện. Trong nghiên cứu này chúng tôi chế tạo, phân tích tính chất hệ vật liệu có công thức với thành phần Pb0,96Sr0,04(Zr0,53Ti0,47)0,996O3 + 0,4% mol MnO2 . Trong đó, vật liệu nền PZT chọn tỷ lệ thành phần theo khối lượng Zr/Ti = 53/47 lân cận biên pha hình thái học. Vật liệu được cứng hóa bằng cách pha tạp đẳng trị Sr và tạp cứng Mn vào nền PZT. 6 2.3. Tính chất điện môi, sắt điện Hình 2.2. Sự phụ thuộc của hằng số điện môi vào nhiệt độ 2.4. Tính chất áp điện Hình 2.4. Phổ dao động cộng hưởng theo phương bán kính 7 Hình 2.5. Phổ dao động cộng hưởng theo phương chiều dày 2.5. Cấu trúc Cấu trúc vật liệu được khảo sát bằng phương pháp đo phổ nhiễu xạ tia X trên thiết bị D8 ADVANCE –Bruker. Faculty of Chemistry, HUS, VNU, D8 ADVANCE-Bruker - M2 400 300 d=2.881 200 Lin (Cps) Lin 100 d=1.659 d=2.349 d=2.028 d=4.081 d=1.441 d=2.055 d=1.828 d=1.359 d=1.299 d=1.282 d=1.240 0 20 30 40 50 60 70 80 2-Theta - Scale File: ThinhHue M2.raw - Type: 2Th/Th locked - Step: 0.030 ° - Step time: 0.3 s - Anode: Cu - WL1: 1.5406 - Generator kV: 40 kV - Generator mA: 40 mA - Creation: 20/06/2017 3:32:42 PM 1) Left Angle: 29.750 ° - Right Angle: 32.780 ° - Obs. Max: 30.997 ° - d (Obs. Max): 2.883 - Max Int.: 291 Cps - Net Height: 287 Cps - FWHM: 0.325 ° - Raw Area: 125.9 Cps x deg. - Net Area: 115.3 Cps x deg. 01-070-4060 (C) - Lead Zirconium Titanium Oxide - Pb(Zr0.52Ti0.48)O3 - Y: 54.87 % - d x by: 1. - WL: 1.5406 - Tetragonal - a 4.05500 - b 4.05500 - c 4.11000 - alpha 90.000 - beta 90.000 - gamma 90.000 - Primitive - P4m Hình 2.6. Phổ nhiễu xạ tia X 2.6. Vi cấu trúc Vi cấu trúc được khảo sát bằng phương pháp chụp ảnh SEM trên thiết bị S4800 – NIHE. 8 Hình 2.7. Ảnh SEM chụp ở các chế độ phóng đại khác nhau Hình 2.8. Ảnh SEM chụp ở các chế độ phóng đại cao 2.7. So sánh kết quả gốm PSZTM với gốm PZT – 4 của Hãng Morgan Mỹ. Bảng 2.1. Một số thông số vật lý của gốm PSZTM và PZT – 4 d33 Tc Ec Pr Loại gốm kP Qm (pC/N) (0C) (kV/cm) (μC/cm2) (g/cm3) PZT- 4 0.56 307 575 355 7.2 25 7.70 PSZTM 0.58 330 527 342 6.8 23.5 7.66 Kết luận Chương 2 Trên cơ sở lý thuyết về vật liệu áp điện cứng PZT pha tạp đã chọn được công thức vật liệu, với quy trình công nghệ đã đề xuất. Kết quả đã chế tạo thành công hệ gốm áp điện có các thông số cao, phù hợp cho việc chế tạo biến tử siêu âm công suất. 9 CHƯƠNG 3 MÔ PHỎNG HOẠT ĐỘNG CỦA BIẾN TỬ ÁP ĐIỆN LAGENVIN BẰNG PHẦN MỀM COMSOL MULTIPHYSIS 3.1. Phân tích đặc trưng cộng hưởng áp điện bằng phương pháp phần tử hữu hạn. 3.1.1. Các phương trình liên tục đối với môi trường áp điện. 3.1.2. Các phương trình động học. 3.2. Phân tích trạng thái dao động của biến tử Lagenvin bằng phần mềm Comsol Multiphysis. 3.2.1. Các thông số của biến tử áp điện hình xuyến. Hình 3.1. Mô hình biến tử áp điện hình xuyến 3.2.2. Trạng thái dao động của biến tử áp điện tại các tần số riêng khác nhau. Hình 3.3. Trạng thái dao động của biến tử tại tần số 16,855 kHz 10 Hình 3.4. Trạng thái dao động của biến tử tại tần số 27,5 kHz Hình 3.5. Trạng thái dao động của biến tử tại tần số 39,99 kHz Hình 3.6. Trạng thái dao động của biến tử tại tần số 44,334 kHz 11 3.2.3. Phổ cộng hưởng của bản gốm theo tần số. Hình 3.8. Phổ cộng hưởng của biến tử áp điện Hình 3.9. Độ biến dạng cơ học cực đại của biến tử theo tần số 3.3. Mô phỏng hoạt động của biến tử Langevin. 3.3.1. Biến tử áp điện kép Langevin 3.3.2. Độ dịch chuyển của biến tử siêu âm tại các tần số khác nhau. 12 Hình 3.12. Độ dịch chuyển của biến tử tại tần số 20 kH Hình 3.13. Độ dịch chuyển của biến tử tại tần số 30 kHz Hình 3.14. Độ dịch chuyển của biến tử tại tần số 40 kHz Hình 3.15. Độ dịch chuyển của biến tử tại tần số 50 kHz 13 3.4. Trường âm bức xạ trong vùng nước mặt trước của biến tử tại các tần số khác nhau. 3.4.1. Mô hình khảo sát trường âm. Hình 3.16. Mô hình 3D khảo sát trường âm bức xạ trước biến tử Hình 3.18. Mô hình 3D chia lưới khảo sát trường âm bức xạ mặt trước biến tử 3.4.2. Khảo sát trường áp suất âm trong vùng nước trước biến tử tại các tần số khác nhau. 14 Hình 3.21. Trường áp suất âm tại tần số 30 kHz Hình 3.22. Trường áp suất âm tại tần số 40 kHz Hình 3.23. Trường áp suất âm tại tần số 50 kHz 3.4.3. Khảo sát mức áp suất âm trong vùng nước trước biến tử tại các tần số khác nhau. 15 Hình 3.25. Mức áp suất âm tại tần số 20 kHz Hình 3.26. Mức áp suất âm tại tần số 30 kHz Hình 3.27. Mức áp suất âm tại tần số 40 kHz 3.4.4. Khảo sát sóng siêu âm phát ra ở trường xa tại các tần số khác nhau. 16 Hình 3. 30. Sóng siêu âm trường xa tại tần số 20 kHz Hình 3. 31. Sóng siêu âm trường xa tại tần số 30 kHz Hình 3. 32. Sóng siêu âm trường xa tại tần số 40 kHz Hình 3. 33. Sóng siêu âm trường xa tại tần số 50 kHz 3.4.5. Khảo sát mức áp suất âm trường xa tại các tần số khác nhau. 17 Hình 3.35. Mức áp suất âm trường xa tại tần số 20 kHz Hình 3.36. Mức áp suất âm trường xa tại tần số 30 kHz Hình 3.37. Mức áp suất âm trường xa tại tần số 40 kHz Hình 3.38. Mức áp suất âm trường xa tại tần số 50 kHz 3.4.6. Khảo sát mức áp suất âm trường xa bằng đồ thị 3D và đồ thị cực chùm độ nhạy tại các tần số khác nhau. 18 Hình 3.40. Đồ thị 3D mức áp suất âm tại tần số 20 kHz Hình 3.41. Đồ thị 3D mức áp suất âm tại tần số 30 kHz Hình 3.42. Đồ thị 3D mức áp suất âm tại tần số 40 kHz Hình 3.43. Đồ thị 3D mức áp suất âm tại tần số 40 kHz 19 Kết luận Chương 3 Bằng phương pháp phần tử hữu hạn trong môi trường áp điện và phần mềm Comsol Multiphysíc đã mô phỏng hoạt động của biến tử kép Langevin. Kết quả mô phỏng đã xác định được các thông số đặc trưng của biến tử, làm cơ sở cho việc thiết kế chế tạo biến tử siêu âm công suất cao. CHƯƠNG 4 CHẾ TẠO BIẾN TỬ SIÊU ÂM CÔNG SUẤT HÚNG 4.1 Cơ sở thiết kế biến tử áp điện kiểu Langevin Hình 4.1. Mô hình cấu tạo biến tử Lagenvin Hình 4.2. Cấu tạo biến tử của hãng Morgan - Mỹ 20 Hình 4.3. Các dạng đầu horn ứng dụng trong siêu âm công suất Hình 4.4. Ứng dụng đầu horn trong siêu âm công suất Hình 4.4. Chi tiết các phần tử của biến tử siêu âm công suất 4.2. Chế tạo biến tử siêu âm công suất từ vật liệu áp điện PZT pha tạp. 4.2.1. Chế tạo biến tử áp điện hình xuyến. 21 Hình 4.5. Thành phẩm chế tạo biến tử áp điện hình xuyến Hình 4.6. Phổ cộng hưởng của biến tử áp điện 4.2.2. Thiết kế biến tử công suất kiểu nhãy bậc. Hình 4.7. Quan hệ giữa chiều dài và biên độ dịch 22 Hình 4.8. Mô hình thiết kế biến tử siêu âm kiểu nhảy bước 4.2.3. Chế tạo biến tử siêu âm công suất Kết luận Chương 4 Từ kết quả nghiên cứu chế tạo thành công hệ vật liệu áp điện cứng PZT và kết quả mô phỏng. Trong chương này, đã nghiên cứu thiết kế chế tạo thành công biến tử áp điện hình xuyến, từ đó đã chế tạo biến tử siêu âm công suất đầu horn kiểu nhãy bước. Kết quả của nghiên cứu đã ứng dụng siêu âm công suất vào quy trình công nghệ tổng hợp vật liệu cấu trúc nano. 23 KẾT LUẬN VÀ KIỆN NGHỊ I. Kết luận Theo nội dung đã trình bày đề tài đã đạt được các mục tiêu nghiên cứu như sau: 1. Đã đưa ra được lý thuyết về vật liệu áp điện làm cơ sở cho việc phân tích, chọn công thức vật liệu áp điện PZT pha tạp cứng và mềm. 2. Xây dựng được quy trình công nghệ chế tạo, phân tích đặc tính của hệ vật liệu áp điện PZT pha tạp. 3. Chế tạo thành công hệ vật liệu áp điện cứng có thông số điện môi, sắt điện, áp điện phù hợp để chế tạo biến tử áp điện công suất cao. 4. Mô phỏng hoạt động, xác định sự phụ thuộc về các thông số của trường âm theo tần số. 5. Thiết kế chế tạo thành công biến tử siêu âm công suất cao từ vật liệu áp điện cứng đã tổng hợp được theo quy trình công nghệ đặt ra. 6. Úng dụng biến tử siêu âm công suất đã chế tạo vào việc pha trộn hổn hợp dung dịch, chiết tách các thành phần, tổng hợp vật liệu cấu trúc nano. Kiến nghị 1. Vật liệu áp điện cứng đã nghiên cứu tổng hợp được tiếp tục triển khai chế tạo với số lượng nhiều biến tử áp điện hình xuyến và biến tử siêu âm công suất. 2. Chế tạo máy siêu âm công suất với đầu phát kiểu hội tụ ứng dụngtrong môi trường chất lỏng. 3. Tiếp tục nghiên cứu thiết kế, chế tạo máy khoan, hàn siêu âm.